一、设备核心技术

　　高速主轴：德国进口品牌Kasite/SycoTec，高转速60,000rpm，精度≤1μm

　　视觉系统：上下两个高倍率远心镜头相机，2,000 W高清像素，空间分辨率≤1μm

　　直线电机：进口品牌直线电机，、高响应

　　光栅反馈：10nm、20 nm、50 nm、100 nm

　　二、相机功能优势

　　上相机：

　　① 标定刀具中心和相机中心误差。

　　② 在线检测工件尺寸确定余量后进行微纳加工。

　　下相机：

　　① 对刀功能( 静态刀具XYZ值的对刀)。

　　② 刀具动态的刀摆补偿。

　　三、软件优势

　　1.自带CNC功能的运动控制卡编程运算各指令。

　　2.自定义运动轨迹控制，编辑不同形状，自动完成零件加工需求。

　　四、设备规格

　　五、应用领域

　　设备广泛应用于航空航天、光学、生物医学、半导体、通用机械加工、模具制造等领域钻、铣、磨高精密加工。

　　六、加工应用案例

　　微深孔加工：孔深系数(D/L)约等于100

　　微小椭圆加工：按椭圆轨迹磨削加工扩展到短轴0.75mm，长轴0.9mm，圆度公差≤2μm

　　高精密微针加工：微针形状为圆锥形、圆柱形、三棱锥、四棱锥等，高度600-800μm，底边长200μm，针体间距500-800μm